微技术/附加方法
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除了添加剂和蚀刻工艺外，还有一些工艺可以改变材料的性质并对其进行表征。
- 硅油
- 喷涂聚合物
- Epo-tek H77 是一种常见的用于封装的双组分 UHV 兼容环氧树脂胶。
- Fortafix 生产一种耐高温胶水，称为 Rocksett，工作温度可达 1000 摄氏度左右。
- Vitcas 耐火材料 生产用于工业和家庭用途的高温胶水/粘合剂，最高温度可达 1700 摄氏度
椭圆偏光仪 用于通过其光学特性（折射率和反射率/吸收率）测量薄膜厚度。
四点探针技术可用于测量薄膜的电导率。为了提高测量精度，可以使用微四点探针。Capres 有一篇关于微四点探针的应用说明。
原子力显微镜 (AFM) 主要用于测量表面的形貌，例如粗糙度。
JEOL 提供了一份关于SEM 图像解释的良好指南
蔡司 提供了一份关于光学显微镜的良好介绍。
另请参见有关编辑此书籍的说明，了解如何添加参考文献 Microtechnology/About#如何贡献。