微技术
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微细加工与微技术开源手册 关于微技术的华夏公益教科书已经开始，旨在将有关各种应用、制造方法和系统的的信息集中在一个地方，为学生、研究人员和所有人提供一个开源手册和概览指南。
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| 目录 | 详细描述 (-图标是各个网页；数字是子部分) | |||
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第一部分：引言 微技术是关于什么的——你可以用它来做什么，它将走向何方？ |
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第二部分：材料 硅是传统上用于制造计算机芯片和其他电子电路的微细加工材料。越来越多的其他材料类型被用于芯片实验室系统和廉价的一次性电路。 |
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第三部分：制造工艺 微细加工主要关注通过批量处理硅（以及越来越多的不同材料）晶圆在洁净室设施中将它们制成单个芯片来制造微芯片。使用洁净室是因为必须避免灰尘。微芯片的部件远小于平均灰尘颗粒，一个单独的颗粒可能会对敏感的工艺造成破坏（不仅会在晶圆的某个位置产生缺陷，还会污染工艺设备）。这些工艺大致可分为添加和刻蚀工艺，它们要么添加要么去除材料，以及光刻工艺，它在表面上创建图案。 |
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第四部分：应用 阅读本文，你已经习惯了你的计算机，它基于微电子技术，你访问互联网，没有光电子技术它将无法正常工作。你车里的安全气囊传感器是一个 MEMS 设备，很快你还会在日常生活中发现芯片实验室设备。 |
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