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微技术/微机电系统 (MEMS)

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应用

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谐振器

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应变计

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压力传感器

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AFM 悬臂梁

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加速度检测器

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光束控制

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射频 MEMS

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可靠性设计规则

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桑迪亚发布了一套用于 MEMS 器件的“可靠性设计规则”，旨在避免早期 MEMS 器件测试中遇到的失效模式。最常见的失效机制是摩擦表面的磨损。 [1]


参考文献

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另请参见有关编辑此书籍的说明，了解如何添加参考文献 微技术/关于#如何贡献。

  1. ↑ Danelle M. Tanner 等人。 "MEMS Reliability: Infrastructure, Test Structures, Experiments, and Failure Modes". Sandia. 2000.
检索自 "https://wikibooks.cn/wiki/Microtechnology/Microelectromechanical_Systems_(MEMS)"
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