微技术/概述
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关于微制造的书籍
- "微制造基础" (第二版，2002) 作者：M. Madou - 强烈推荐！
- "微制造导论" (2004) 作者：S. Franssila
微技术相关期刊及其影响因子概述（2006 年 8 月值）
| 期刊 | 链接 | 影响因子 | 评论 |
|---|---|---|---|
| 美国物理学杂志 (AJP) | [1] | 0.82 | ? |
| IEEE 电子器件学报 | [2] | ? | IEEE |
| 电子快报 | [3] | 1.0 | ? |
| 应用物理学杂志 | [4] | 2.5 | ? |
| 材料加工技术杂志 | [5] | 0.6 | ? |
| 微机电系统杂志 (J.MEMS) | [6] | 3 | ? |
| 微光刻微制造和微系统杂志 | [7] | 1.4 | ? |
| 微机械与微工程杂志 | [8] | 2.5 | ? |
| 微系统技术杂志 | [9] | 0.72 | 微系统技术 - 微纳系统 - 信息存储和处理系统 |
| 固体电子学杂志 | [10] | 1.2 | ? |
| 真空科学与技术 A 杂志 (JVSTA) | [11] | 1.4 | 真空、表面、薄膜 |
| 真空科学与技术 B 杂志 (JVSTB) | [12] | 1.6 | 微电子学和纳米结构：加工、测量和现象 |
| 芯片实验室 | [13] | 5.3 | ? |
| 微电子工程 | [14] | 1.4 | ? |
| 微电子学杂志 | [15] | 0.35 | ? |
| 传感器快报 | [16] | 1.1 | ? |
| 传感器与执行器 A：物理 | [17] | 1.4 | ? |
| 传感器与执行器 B：化学 | [18] | 2.6 | ? |
| 表面与涂层技术 | [19] | 1.6 | ? |
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