光刻

电子束光刻

扫描电镜中高度聚焦的电子束用于对纳米结构成像，但它也可以用于制造纳米级沉积物。在扫描电镜腔室中存在含碳或有机金属气体的情况下，电子束诱导沉积 (EBID 或电子束沉积 (EBD)) 可用于构建三维纳米结构或焊接/粘合纳米结构。

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